综合热分析仪主要是测量热物性值中热渗透率的一种设备，可以进行微小领域（微米等级）、纳米薄膜、Sic（单晶体、多晶体）、AIN等的测量。热分析仪检测设备利用激光对样品进行调制循环加热、通过红外线放射量的变化，将样品内部异常部分的检测或不均匀性的热特性可视化。内载红外宏观光学系照相机，可高倍率观察。并且，使用样品加热器的热传播检查和简易温度测量都可以进行。

　　综合热分析仪的原理：

　　消除称重量、样品均匀性、升温速率一致性、气氛压力与流量差异等因素影响，TG与DTA/DSC曲线对应性更佳。根据某一热效应是否对应质量变化，有助于判别该热效应所对应的物化过程(如区分熔融峰、结晶峰、相变峰与分解峰、氧化峰等)。在反应温度处知道样品的当前实际质量，有利于反应热焓的准确计算。

　　产品不仅波长连续自动可调，而且精度大幅提高，从传统元素分析仪的波长误差一般20nm(±5nm)提高到现在的3nm，因而可以使产品在扩大应用范围的同时，提高分析检测的准确度。可检测普碳钢、低合金钢、高合金钢、生铸铁、球铁、合金铸铁等多种材料中的Si、Mn、P、Cr、Ni、Mo、Cu、Ti等多种元素。每个元素可储存99条工作曲线，品牌电脑微机控制,全中文菜单式操作。可以满足冶金、机械、化工等行业在炉前、成品、来料化验等方面对材料多元素分析的需要。

　　综合热分析仪检测设备特点

　　1、热分析仪热物理性显微镜是测量热物性值中热渗透率的一种设备；

　　2、热分析仪检测设备可以通过点、线、面测量样品的热物性；

　　3、该设备可以测量以往难以测量的微米等级的热物性值的分布；

　　4、非接触方式且高分辨率的热物性测量设备；

　　5、检测光spot直径3μm、高分辨率来测量微小领域的热物性（点、线、面  测量）；

　　6、因为可改变深度范围来测量，所以从薄膜、多层膜到散装材料都可测量；

　　7、 基板上的样品也可测量；

　　8、 热分析仪激光非接触式测量；

　　9、可检测薄膜下的裂纹、孔隙、脱落等问题。